特点

高性能电机:

主轴配备高性能交流永磁同步电机，连续额定输出扭矩可达13.5N.m，强劲扭力轻松应对碳化硅等超硬材料的加工需求。

高效率冷却系统:

三段式冷却结构提升冷却效率，温升小，热稳定时间≤20min，热伸长波动≤100nm。非接触式轴芯中心出水结构和砂轮冷却流道同时冷却轴芯和砂轮，提高加工过程中的精度保持和表面处理质量，减少因温度波动导致的加工误差。

高加工质量:

主轴全转速振动≤0.1mm/s，轴向刚度450N/μm，径向刚度150N/μm，回转运动误差低至20纳米，使得8英寸工件研磨后表面TTV<3μm，粗糙度Ra≤0.02μm，保障了晶圆等产品的高质量加工。

参数